各種真空泵的發(fā)展受到真空應(yīng)用場合的影響，普通真空系統(tǒng)無法滿足清潔、無油、耐腐蝕要求。因此在近年來，干式真空泵的市場需求量非常大，真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的現(xiàn)象，大量有油真空系統(tǒng)已經(jīng)被無油清潔的真空系統(tǒng)替換。
    因干式螺桿真空泵的優(yōu)越性能，在歐美和日本已經(jīng)成為半導(dǎo)體、微電子、制藥、精密加工等領(lǐng)域的必備真空獲得設(shè)備。
    利用一對螺桿，在螺桿真空泵腔內(nèi)作高速反方向的同步工作，使用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的彼此咬合不接觸的左右螺桿作高速滾動(dòng)，兩個(gè)轉(zhuǎn)子和泵體，外加側(cè)蓋一同構(gòu)成若干個(gè)吸排氣效果的抽氣設(shè)備。這些氣室有規(guī)則地從真空泵進(jìn)氣口側(cè)往排氣口側(cè)移動(dòng)，氣體被低速旋流傳送。繼續(xù)工作不會(huì)改動(dòng)氣體流向，在一定限度內(nèi)，可以將氣體可能夾藏的細(xì)小顆粒和蒸汽抽送出去。
    使用泵殼和彼此嚙合的螺旋，將螺旋槽分隔成多個(gè)空間，氣體在相等的各槽內(nèi)做傳輸運(yùn)動(dòng)，無壓縮，只要螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)才會(huì)對氣體有壓縮的效果。螺桿的各級間形成壓力梯度，分散壓差和提高緊縮比。
    吸氣：螺桿真空泵陽轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，陰螺桿按順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。
    緊縮：轉(zhuǎn)于端面是排氣端面。陰轉(zhuǎn)于沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，陽轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)。
    而齒間容積與排氣孔口連通后，開始排氣。隨著齒間的容積不斷縮小，具有排氣壓力的氣體會(huì)逐步經(jīng)過排氣孔口排出。
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